臭氧是氧的同素異形體具有很強的氧化性，通過在較短的時間內(nèi)破壞其他微生物結(jié)構(gòu)，使之失去生存能力，殺菌速度快，當(dāng)其濃度到數(shù)值后，殺菌甚至可以完成。

　　臭氧以氧原子的氧化作用破壞微生物膜的結(jié)構(gòu)，以實現(xiàn)殺菌。臭氧能與壁脂類的雙鍵反應(yīng)， 穿入菌體內(nèi)部，作用于蛋白和脂多糖，改變通透性。臭氧還作用于內(nèi)的核物質(zhì)，如核酸中的嘌呤和嘧啶破壞DNA。臭氧先作用于膜，使膜構(gòu)成成份受損傷，而導(dǎo)致新陳代謝障礙，臭氧繼續(xù)滲透穿透膜，而破壞膜內(nèi)脂蛋白和脂多糖，改變通透性，導(dǎo)致溶解。